激光直写光刻(Laser Direct Writing, 简称LDW)或称激光直接成像(Laser Direct Imaging, 简称LDI),是一种利用计算机控制高精度激光束扫描,在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形的技术。
传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜版需要由专业供应商提供,但是在研发环境中,掩膜版的设计需要经常改变。激光直写光刻是通过电脑控制一系列激光脉冲的开关,在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。当前技术主要应用于PCB电路板印刷、阻焊油墨印刷、IC载板印刷等行业。
在激光直写系统中,镜头(通常指投影光刻物镜)扮演着关键角色,负责将激光束聚焦并准确地投影到目标基材上。激光直写光刻镜头需要满足高精度、高分辨率以及良好的光学性能等要求,以确保激光束能够准确地投射到目标位置,并产生清晰、精确的图形。镜头的设计和制造过程需要考虑到多种因素,包括材料选择、光学设计、加工精度以及装配调试等。
波长光电针对激光直写光刻系统,做了长期的研发和试验,相继成功开发出不同倍率的直写光刻照明镜头和成像镜头等产品,并同步开发一体化的光机模组,为光刻机领域的发展贡献力量。
直写光刻照明镜头
可承受200W以上高强度激光;可达到98%以上的光学均匀性;可满足96%以上的光学利用率;可支持定制。
直写光刻成像镜头
可承受200W以上高强度激光;全视场解析<爱里斑半径;低畸变场曲平场镜头;可支持定制。
产品留言
南京波长光电科技股份有限公司
扫一扫关注我们
copyright © 2022 南京波长光电科技股份有限公司