UVLED平行光源

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UVLED平行光源

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应用于：

半导体晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以LED单波段或混合波段作为光源，采用了阵列光学镜片整形后，输出均匀的平行光组成面光源（矩形或者特定形状光斑），实现波长365nm的紫外光（313nm或者405nm、435nm混合光），光束垂直照射于半导体光刻机掩膜板进行芯片光曝光，光能利用率高，光强分布均匀。

规格及参数：

序号	项目	性能要求
1	型号	UVLED-365-6-400-WC/AC
2	光源	LED
3	工作波长	主波长365nm（可定制405nm、435nm或混合波段）
4	照明尺寸	>160x160mm（可定制4寸--12寸曝光面积）
5	照明不均匀性	<2%
6	照明强度	>30mw/cm2 @365nm（风冷）/>100mw/cm2 @365nm（水冷）
7	准直角	<2°（可定制）
8	倾斜角	<0.3°
9	工作距	200-400mm（可根据客户需求进行定制）
10	外形尺寸	长宽高≤550350600mm
11	能量调节	调节控制LED功率（本地或远程）
12	能量检测	光路能量实时监测